Model: SX-51

（真空chamber用）真空腔室使用

1.Wafer size (specify from 2”to 12”) 晶圆尺寸（从2吋到12吋）

2.Working Temperature Range 工作温度范围

3.Thermocouple Type (choose K, R, S, PL II) 热电偶种类 （选择K，R，S，PLII）

4.Number of Measuring Points 量测点数

5.Length of L1 and L3 L1 及L3的排线长度

6.Thermocouple Wire Diameter 热电偶线径              

7.Insulation for L1, L3 (choose from T, K, Q, C in the insulation table in previous page ) L1，L3的绝缘层种类（从说明中的绝缘层列表中选择 T，K，Q，C）   

8.Feed Through Length, L2 馈通长度 L2

9.Connector Type (choose from Mini, U-Shape or D-Sub) 连接端子种类 （从Mini，U Shape, 或 D-Sub选择） 

10.Calibration Requirement是否需出具校正报告